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英特爾完成首臺(tái)商用高數(shù)值孔徑EUV光刻機(jī)組裝

創(chuàng)業(yè) 作者:松鼠抱栗子 2024-04-18 23:39:12

美國(guó)芯片公司英特爾宣布,其代工廠已接收并完成組裝業(yè)界首臺(tái)商用高數(shù)值孔徑(High NA)極紫外(EUV)光刻機(jī)。據(jù)介紹,這套重達(dá)165噸的設(shè)備是阿斯麥(ASML)與英特爾合作數(shù)十年后開發(fā)的新一代光刻設(shè)備,現(xiàn)位于俄勒岡州的D1X制造工廠,正在進(jìn)行最后的校準(zhǔn)。

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